ИНКА: Универсальная платформа для электронно-зондового микроанализа

 

В зависимости от технических требований и бюджета система микроанализа ИНКА поставляется в нескольких стандартных конфигурациях:

1. Inca Energy SEM - энергодисперсионный  (ЭД) рентгеновский спектрометр для РЭМ:

Energy 250 – базовый набор функций микроанализа для РЭМ

Детектор INCAx-sight  с разрешением  <137 эВ
Анализ от бора до плутония
3 навигатора
Analyzer - анализатор
Mapping – анализ пространственного распределения элементов
Point & ID – управление электронным зондом; выбор точек или областей для анализа на растровом изображении
Все основные функции микроанализа:
Получение спектра 
Сравнение полученных спектров
Идентификация пиков («ручная» и автоматическая)
Количественный анализ (с использованием стандартов или без них)
- Управление электронным зондом 
Получение растровых снимков и рентгеновских карт
(Spectrum Imaging)

Energy 350 –  ряд дополнительных функций

Все функции Energy 250 плюс:
Детектор INCAx-sight   с разрешением <133эВ
Анализ от бериллия до плутония
3 навигатора
Analyzer - анализатор
Mapping  – картирование элементов 
Point & ID – автоматизация управления электронным зондом; выбор систем точек или областей для анализа на растровом изображении, Можно также получить серию спектров от точек расположенных вдоль линии или по сетке («Lines &Grids»)
Cameo+
Синтез спектра
Построение фазовых карт
Site Lock – программа компенсации дрейфа изображения на больших увеличениях

 

Energy 350DC - все функции Energy350 c безазотным детектором  INCA DryCool

 

Energy 450 *– система автоматического микроанализа с возможностью управления столиком микроскопа 

Детектор INCAx-sight  с разрешением <133эВ

Все функции Energy 350, плюс возможности управления столиком микроскопа*
Automate – система автоматического анализа различных участков образца по заданной программе
Монтаж изображений и рентгеновских карт больших участков образца
Spectrum Matching – поиск похожего  спектра среди ранее полученных или синтезированных спектров
Feature – программа автоматического анализа и классификации микровключений и частиц

 

Energy 450DC * - все функции Energy450 c безазотным детектором  INCA DryCool

 

* - только для РЭМ, допускающих компьютерное управление моторизованным столиком со стороны системы ИНКА

 

По Вашим пожеланиям можно создать ряд других конфигураций - в том числе с использованием новых детекторов !

 

2.  INCA Wave - волнодисперсионный (ВД) рентгеновский спектрометр для РЭМ

 

Wave 500 - система для качественного и количественного микроанализа

Волнодисперсионный спектрометр с четырьмя  дифракционными  кристаллами (LiF, PET, TAP, LSM80N)

Два навигатора IncaWave: 

Анализатор – для сканирования рентгеновских спектров и количественного анализа

Стандартизация – для измерения стандартных образцов и калибровки спектрометра

Автоматический мониторинг тока зонда с графическим интерфейсом

Компьютерное управление всеми параметрами спектрометра (смена кристаллов, поиск пиков, оптимизация положения и ширины приемной щели детектора для каждой линии, скорость и шаг сканирования и др.)

Полностью автоматическая калибровка детектора· 

Метод XPP для коррекции матричных эффектов в количественном микроанализе

Wave 700 - все функции Wave500, спектрометр с пятью дифракционными кристаллами

Волнодисперсионный спектрометр  с пятью  дифракционными  кристаллами (LiF, PET, TAP, LSM60, LSM200)

 

В каждый спектрометр можно установить до 6 кристаллов по выбору заказчика

3.  INCA Energy+ -  программная платформа  для интеграции управления ЭД и ВД спектрометрами

Пять навигаторов:
Анализатор Energy+ - для управления ЭДС и ВДС (сканирование спектров, количественный анализ с произвольным выбором метода/аналитической линии для каждого элемента, калибровка ЭДС, измерение тока зонда в ячейке Фарадея, коррекция флуктуаций тока зонда для ВДС и ЭДС)

Point&ID – то же, с привязкой к изображению

Картирование – для получения рентгеновских карт и линейных профилей, с ЭДС и ВДС (при сканировании электронным зондом с ВДС возможно получение карт и профилей только при увеличении >1000Х)

Анализатор Wave- для сканирования спектров ВДС и количественного анализа методом ВДС

Стандартизация Wave– для измерения стандартных образцов и калибровки ВД спектрометра

 

4. INCA Crystal  и HKL Channel 5 - системы анализа структуры и текстуры кристаллических материалов методом дифракции обратнорассеянных (отраженных) электронов (ДОЭ)

 

INCA Crystal 200 интегрированная в платформу ИНКА система анализа ДОЭ

 

INCA Crystal 300 - ряд дополнительных функций

 

HKL Channel 5 - отдельная (не интегрированная с ИНКА) система анализа ДОЭ с широким набором функций

 

INCA Synergy - система на базе Channel 5 с интегрированной в программную оболочку функцией энергодисперсионного микроанализа (включая одновременное картирование элементного состава и текстуры, фазовый анализ). 

 

5. Inca Energy TEM - энергодисперсионный рентгеновский спектрометр для просвечивающих электронных микроскопов (ПЭМ)

 

TEM 100 

Детектор с  кристаллом 30мм2, разрешение 136 эВ
Определение элементов от B до U 

1 навигатор 

 Analyzer - анализатор, для получения рентгеновских спектров, качественного и количественного анализа

 

TEM 200 - для ПЭМ с блоком сканирования, функции получения электронных изображений и рентгеновского картирования

Детектор с  кристаллом 30мм2, разрешение 136 эВ

2 навигатора:

Analyzer - анализатор, для получения рентгеновских спектров, качественного и количественного анализа

Mapping– анализ пространственного распределения элементов

 

TEM 250 - для ПЭМ с блоком сканирования, все функции TEM200 плюс возможность управления электронным зондом 
Детектор с  кристаллом 30мм2, разрешение 136 эВ

3 навигатора:

Analyzer - анализатор, для получения рентгеновских спектров, качественного и количественного анализа

Mapping – анализ пространственного распределения элементов

Point & ID – управление электронным зондом; выбор точек или областей для анализа