Энергодисперсионные спектрометры (ЭДС) для электронно-зондового микроанализа

Безазотные SDD детекторы X-Max для РЭМ и ПЭМ:

X-MAX^N – новейшее поколение кремний-дрейфовых (SDD) детекторов с уникальными характеристиками.

• SDD детекторы X-Max^N и X-ACT с активной площадью кристаллов, на выбор – 10, 20, 50, 80, 150мм²
• Внешний диаметр трубки детекторов не зависит от площади кристаллов и позволяет максимально приблизиться к образцу - так же, как и с кристаллами малого диаметра 10мм²
• Гарантированные характеристики разрешения по энергии не зависят от площади кристаллов
• Определение любых элементов от бериллия
• Не требуют жидкого азота для охлаждения – только подключение к электроэнергии
• Охлаждение по первому требованию, за секунды

Детекторы Х-МАХ^N для РЭМ

• Для достижения скорости счета 100 000 имп/сек при 20кэВ обычному SDD детектору (10мм²) требуется ток зонда более >15-20нА. При этих условиях качество электронных изображений существенно деградирует
• X-Max^N 150мм² достигает этой скорости счета при токе зонда 1нА – т.е. Вы всегда будете работать в режиме, оптимальном для получения наилучшего качества изображений для РЭМ, не теряя в производительности и статистике счета
• Впервые преимущества производительности SDD детекторов достижимы при оптимальных условиях наблюдения для РЭМ !

Ток зонда <2нА

Ток зонда >20нА

Больше не нужно подстраивать условия наблюдения в электронном микроскопе под характеристики детектора ЭДС – получайте изображение наилучшего качества при малых токах зонда, а точный и быстрый микроанализ теперь возможен при любых условиях

Новые SDD детекторы X-Max^N с активной площадью кристаллов, на выбор – 20, 50, 80, 150мм²

• Не требуется жидкий азот для охлаждения
• Гарантирована стабильность позиции пика <1eV @Mn Ka и стабильность разрешения <1eV @Mn Ka при скорости счета до 100 000имп/сек
• Гарантированные характеристики по легким элементам (углерод, фтор) соответствующие стандарту ISO 15632:2002
• Надежный количественный анализ при скорости счета до 250 000имп/сек

Детекторы X-Max^N для РЭМ

Название	Гарантированное разрешение (эВ) на линии:		Диапазон элементов	Активная площадь (мм^2)
	Mn Ka	С Ка
X-Max^N (Premium)	124	48	Be-Pu	20, 50, 80
X-Max^N (Standard)	127	56	Be-Pu	20, 50, 80, или 150

Область применения X-Max^N:

Большая площадь кристалла дает преимущества при анализе наноструктур и чувствительных к электронному зонду образцов при малых токах зонда и низких ускоряющих напряжениях. При больших токах зонда - для одновременной работы с ВДС (Inca Wave) - используется автоматически регулируемый коллиматор X-Max+. Таким образом, эти детекторы обладают безкомпромиссными характеристиками при любых условиях анализа.

Участок спектра в области легких элементов (бериллий, углерод, кислород)

Детекторы Х-Мах^N позволяют увидеть в спектре не только линию бериллия Kα, но и линии с меньшей энергией - Si Ll и Al Ll, а также использовать их для получения карт при малых ускоряющих напряжениях (<5кэВ).

Детекторы Х-МАХ для ПЭМ

X-Max80T и X-Max80TLE

Кремний-дрейфовые (SDD) детекторы с большой активной площадью и МАКСимальной эффективностью регистации для Вашего аналитического ПЭМ !

• Новые SDD детекторы X-Max80 T (с полимерным сверхтонким окном) и X-Max80 TLE (без окна) с активной площадью кристаллов 80мм²
• Гарантированные характеристики разрешения по энергии (127эВ, Mn Ка)
• Типичное разрешение по энергии - 125эВ на линии Mn Ка
• Определение любых элементов от бериллия
• Моторизованный слайдер
• Не требует жидкого азота для охлаждения – только подключение к электроэнергии
• Охлаждение по первому требованию, за секунды

Большой телесный угол SDD означает высочайшую скорость счета без компромиссов по разрешению

Высокие характеристики на НАНО уровне

X-Max TEM и X-MAX TLE – новые революционные кремний-дрейфовые детекторы компании Oxford Instruments - теперь доступны и для аналитических просвечивающих электронных микроскопов. Эти детекторы, оснащенные сенсором площадью 80мм²,  демонстрируют лучшие значения телесных углов по сравнению с любыми другими SDD для ПЭМ. В дополнение к впечатляющему спектральному разрешению, особенно в области малых энергий, их способность работать на высоких скоростях счета без использования жидкого азота для охлаждения ставит их на ступень лидера в области самых передовых технологий производства детекторов. В комбинации с программой AZtecTEM детекторы Х-Мах80 обеспечивают максимальные аналитические характеристики для любого ПЭМ

Лучший телесный угол для SDD

Сенсор 80mm2 гарантирует высокую скорость счета в сочетание с превосходными аналитическим характеристиками – от бериллия включительно. В отличие от Si(Li) детекторов высокое разрешение сохраняется при скоростях счета более 100 000 имп/сек.  

Такие скорости счета позволяют получать карты и профили распределения элементов на относительно толстых образцах, где высокая интенсивность сигнала обычно вызывает отключение Si(Li) детекторов.  Нет необходимости снижать ток зонда. Хорошие карты и профили можно получать значительно быстрее. 

· X-Max охлаждается модулем Пельтье и не требует жидкого азота

· Охлаждается за секунды и всегда готов к работе

· Нет движущихся частей и нет кипящего азота – т.е. нет источников вибрации

· Моторизованный слайдер автоматически выдвигает детектор при слишком большом потоке электронов на малых увеличениях  

· Безопасен, удобен и не загрязняет среду

Непревзойденный уровень качественного и количественного анализа

SDD технология X-Max и программа AZtecTEM обеспечивают дружелюбную платформу даже для неопытного пользователя, в то же время сохраняя необходимый уровень глубины для экспертов в области микроанализа:

· Быстрый и точный количественный анализ с использованием модифицированного алгоритма Клифа-Лоримера для тонких и толстых образцов, включая заданные оператором k-факторы, используемые отдельно, либо в комбинации теоретическими значениями.  

· Поправки на плотность и толщину можно применять для образцов толщиной более 100нм 

Сравнение спектров оксида никеля полученных с помощью детекторов X-Max80 T (красный) и Х-Мax80 TLE (желтый).

Безоконный детектор TLE обеспечивает наилучшую чувствительность для легких элементов: для бериллия - в 3.3 раза, для азота в 3 раза, для кислорода - в 2 раза.

Детекторы Х-ACT для РЭМ

Экономичный безазотный SDD детектор Inca x-ACT

• Аналитический Дрейфовый Детектор (ADD)
• Не требует жидкого азота для охлаждения – только подключение к электроэнергии
• Охлаждение по первому требованию, за секунды
• Автоматическое охлаждение одновременно с откачкой микроскопа

Название	Гарантированное разрешение (эВ) на линии:		Диапазон элементов
	Mn Ka	С Ка
x-ACT (Premium)	127	56	Be-Pu
x-ACT (Standard)	130	60	Be-Pu

· Гарантирована стабильность позиции пика <1eV @Mn Ka и стабильность разрешения <1eV @Mn Ka при скорости счета от 1000 до 100000имп/сек

· Надежный количественный анализ при скорости счета до 250 000имп/сек - за 1-2 секунды

· Картирование элементов за 60 секунд

· Точное отображение химических вариаций

· Определение любых элементов от бериллия

· Первый в мире детектор по технологии SDD, соответствующий стандарту ISO 15632:2002.

· Нет движущихся частей – отсутствие признаков вибрации при больших увеличениях

Главные преимущества ADD детектора Inca X-act:

Очень высокая производительность анализа при высоком токе зонда и высокой интенсивности сигнала - точный анализ за 5 сек.

Превосходно сочетается с ВДС (Inca Wave).

Область применения ADD детектора Inca X-act:

Везде, где имеется возможность получения высокого тока зонда на образце (>3-10нА): - на РЭМ с вольфрамовым катодом или с автоэмиссионным катодом Шоттки, на образцах, устойчивых под электронным зондом.

AZTEC Energy – оборудование и программы для энергодисперсионного (ЭДС)  микроанализа

INCA Wave - Оборудование и программы для волнодисперсионного (ВДС) микроанализа

INCA Energy+  - программная платформа  для интеграции управления ЭД и ВД спектрометрами

AZTEC HKL и Channel 5 - система анализа материалов методом дифракции отраженных электронов  (EBSD)