|
|||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
|
|||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
INCA WAVE - оборудование и программы для волнодисперсионного (ВД)
микроанализа |
|||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
|
|||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
Основные преимущества ВДС: ·
Микроанализ
приблизительно в десять раз более чувствительный по сравнению с ЭДС ·
Анализ
элементов-примесей (< 0.1 - <0.01%) ·
Спектральное
разрешение примерно на порядок лучше ЭДС ·
Разделение
близко расположенных пиков ·
Точная
идентификация пиков ·
Наилучшая
чувствительность для анализа легких элементов ·
Картирование
с наилучшим отношением пик/фон |
|
||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
|
Программа Inca
Wave – для количественного и
качественного анализа методом ВДС
Анализатор – для сканирования спектров и количественного
анализа Стандартизация – для измерения стандартных образцов и калибровки
спектрометра
|
||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
INCA Energy+ - программная
платформа для интеграции управления ЭД и ВД спектрометрами Многие растровые микроскопы допускают одновременную установку ЭД
и ВД спектрометров: (1) оба детектора направлены в одну точку; (2) обеспечиваются необходимые величины рабочего расстояния и
угла отбора ЭДС: за несколько секунд можно получить полный спектр
образца и определить его качественный и количественный химический состав ВДС: обеспечивает более точный результат, но это
относительно медленный последовательный метод анализа ЭДС и ВДС являются дополняющими друг
друга методами микроанализа. Energy+ обеспечивает для ВДС тот же уровень легкости и
удобства работы, что и для ЭДС Оператор может произвольно выбрать метод анализа для каждого
элемента: - для быстрого анализа
основных компонентов – ЭДС - для элементов- примесей
и элементов с перекрывающимися пиками - ВДС |
|||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
Сравнение
результатов количественного анализа минерала (Cr-пироп) Верхняя строка (WD)
– контрольный анализ методом ВДС на электронно-зондовом микроанализаторе Camebax. Средняя строка (ED) –
анализ того же зерна методом ЭДС (IncaEnergy):
содержание Mn
завышено, Na не
обнаружен. Нижняя строка (ED/WD) – комбинированный ВДС-ЭДС
анализ с помощью IncaEnergy+: Na и Mn – методом ВДС, остальные
элементы – ЭДС: превосходная сходимость результатов |
|||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
Automate+ и Монтаж С использованием программ INCAEnergy+, AutoMate+ и Montage возможно автоматическое управление столиком
микроскопа для микроанализа с ВДС и ЭДС, включая получение
монтированных элементных карт образца любого размера, автоматический
количественный анализ в заданных точках и др. |
|||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
Оборудование для
волнодисперсионного (ВД) микроанализа |
|||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
|
Wave 500 и 700 – лучшие в мире
волнодисперсионные спектрометры (ВДС), специально сконструированные для
точного количественного анализа при установке на РЭМ. |
||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
|
|||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
. |
|||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
Сравнение типичных
параметров ЭДС и ВДС |
|||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
•
Методы ВДС и ЭДС по отдельности не являются
универсальными для решения всех задач электронно-зондового микроанализа •
ВДС обладает хорошим спектральным
разрешением и чувствительностью, но это относительно медленный
последовательный метод •
ЭДС – высокоскоростной метод одновременного
анализа, очень гибкий в применении, но даже лучшие детекторы не могут
сравниться по разрешению с ВДС •
Совместное использование двух спектрометров
существенно повышает производительность и точность анализа, а программная среда
на базе Inca гарантирует простоту и удобство управления. |
|||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
|
|||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
AZTEC Energy – программа для энергодисперсионного (ЭДС) микроанализа Оборудование для
энергодисперсионного (ЭДС) микроанализа AZTEC HKL и Channel 5 - система анализа материалов методом дифракции отраженных электронов
(EBSD) |
|||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||