|
|||||||||
|
|
|||||||||
Основные компоненты системы микроанализа Inca Energy SEM:
1. Полупроводниковый
детектор (ППД) рентгеновского излучения. Детектор
энергодисперсионного спектрометра (ЭДС) преобразует энергию
единичного рентгеновского фотона в скачок напряжения пропорциональной величины
с использованием полупроводникового кристалла и полевого транзистора –
предусилителя.
2. Цифровой
процессор импульсов. Измеряет электронные сигналы для
определения энергии каждого рентгеновского импульса.
3. Система
захвата изображения. Позволяет получать цифровые электронные
изображения и осуществлять управление микроскопом.
4. Анализатор.
Компьютер и программы для анализа и интерпретации полученных данных.
Характеристики детектора и системы обработки
сигнала – базовые факторы, определяющие аналитические характеристики системы
микроанализа в целом.
Критериями оценки являются: (1) энергетическое разрешение детектора; (2) стабильность отклика при разных нагрузках и (3) способность поддерживать характеристики в долгосрочной перспективе.
1.
Разрешение детектора.
 |
Разрешение – это ширина пика на половине его максимальной высоты (ПШПВ). Лучшее разрешение означает меньшую ширину пиков. Разрешение ППД зависит от нагрузки, т.е. при малой интенсивности рентгеновского излучения (и соответственно скорости счета <1000 имп/сек) оно наилучшее, но ухудшается с ростом нагрузки. При обычных условиях наблюдения для РЭМ (ток зонда 0,1-1.0нА) скорость счета для обычного ППД с площадью кристалла 10мм2 находится в диапазоне приблизительно от 2000 до 8000имп/сек
|
2. Стабильность разрешения и позиции пиков.
Важная характеристика
детектора
и системы обработки сигнала – стабильность разрешения и позиции
пиков при разной скорости счета. Сдвиги пиков вызывают ошибки деконволюции
близких и перекрывающихся линий и приводят к ошибкам в идентификации пиков и в
количественном анализе. Сдвиг на 4эВ приводит к ошибке в 10вес.%.
Oxford Instruments гарантирует стабильность позиции пика
<1eV @Mn Ka и стабильность
разрешения <1eV @Mn Ka при скорости счета от 1000 до
10000имп/сек
(до 40000 для новых
детекторов АДД). Только
Oxford Instruments гарантирует эти параметры!
3.
Долговременная стабильность в течение всего срока эксплуатации.
На поверхности кристалла Si(Li) детектора постепенно формируется пленка льда. Это вызывает избирательное поглощение и снижение чувствительности к излучению низкой энергии. Основной источник воды - молекулы, проникающие через окно детектора при повышении давления в камере микроскопа. Это происходит в микроскопах использующих режим низкого вакуума, либо на время оставляемых без вакуума. Детекторы Oxford Instruments снабжены специальной патентованной системой кондиционирования для удаления льда. Таким образом, характеристики детектора восстанавливаются.
